“trueness” （真度）はこれまで “accuracy of the mean” （平均値の正確さ）と表現されていた。この表現は推奨しない。        [JIS Z 8101-2] 参考 “十分多数の測定結果 (a large series of test results) から得られた平均値”は，測定結果の期待値の意味である。 3.8 かたより (bias) ：測定結果の期待値と，採択された参照値との差。 備考5.

　測長SEMのような計測装置では、基本的に高い「精度」（Precision）が求められます。「精度」の高い装置が高性能な計測装置ということになります。測長SEMは3σで計測寸法の1%程度という高い「測長再現性」を有しています。半導体の製造工程で使用されるエッチング装置の製品ラインアップをご紹介します。半導体の製造工程では、高性能な計測・検査装置による品質管理が不可欠です。半導体の開発・製造・不良解析などに用いられる、最先端の解析装置をご紹介します。関連リンク 分が他の成分の定量を妨害する場合にかたよりが生じる。 0.6 “精確さ (accuracy)”という用語は，この規格においては，真度と精度の両方を表すために使われて. 適用範囲  2 2. 3.8から3.11，3.15，3.16，3.19及び3.20の定義は，実際には値が未知である理論値を定義の文に含んでいる。実際には，再現標準偏差，併行標準偏差，及びかたよりの値は（この規格の第2部と第4部に示される）実験で求められるが，これらは統計的に表現するとそれぞれの推定値であり，誤差を含んでいる。したがって許容差r及びRの確率は正確には95%にならないことがある。多数の試験室が精度評価実験に参加するならば，この確率は95%に近くなるが，参加試験室数が30未満であると95%からかなり逸脱するおそれがある。これは避けられないが，これらの許容差の本来の目的は，測定結果の差がその測定方法に固有の確率的な不確かさに基づくのか否かを判定する道具として用いることであるから，実際上の有用性を深刻に損なうことはない。併行許容差rや再現許容差Rを超える測定結果の差は，疑わしいとする。 参考 3.6から3.10の定義文に含まれる「採択された参照値」は「真の値」とすべきである。「真度」，「かたより」は概念上，真の値から測られなければならない。すなわち真の値から測られた「真度」，「かたより」は“真の”「真度」，「かたより」である。また，3.6から3.10の定義のような参照値から測られた「真度」，「かたより」は「真度」，「かたより」の“推定値”である。実際に用いられる値は推定値であるが，推定値でもって概念を定義することは適切ではない。例えば「かたよりのない測定方法」と「かたよりの推定値が0である測定方法」では表現される意味が異なってくる。また推定値は推定の技術に依存するため，推定値を用いた定義は技術の進歩に対して一貫性を持たないという問題もある。 備考21. 定義 この規格の目的に合わせ，以下の定義を用いる。 いくつかの定義は，JIS Z 8101からの引用である。 この規格で用いる記号附属書Aに示す。 参考 この規格は原案段階では“測定方法”にtest methodという用語を，“測定結果”にtest resultという用語を用いていた。その後（1985年），testは統計的検定 (statistical test) と紛らわしいという指摘を受けて，“測定方法”と“測定結果”をそれぞれmeasurement method, measurement resultに変更することになった。規格の表題もこの変更を受けて，measurement methods and resultsに変更された。この変更は規格本体の中で徹底されておらず，測定結果 (test result)，測定水準 (level of test) などの用語が残っている。この翻訳に，この混乱を持ち込まぬように配慮し，できる限り“測定”と訳すことにした。 3.1 観測値，測定値 (observed value) ：1回の測定結果として得られる特性の値。    [JIS Z 8101-1] 3.2 測定結果，試験値 (test result) ：規定された測定方法の実施によって得られる特性の値。 備考1. © Hitachi High-Tech Corporation. 測定方法には，何個の観測値を取るのか，及びそれらの平均，又は複数個の観測値の適切な関数（例えば，メディアンや標準偏差など）のいずれを測定結果とするのかを規定するのがよい。また気体体積の標準状態への換算のような，補正が規定されることがある。したがって，複数の観測値から計算された結果が一個の測定結果になり得る。単純な場合には，単一の観測値そのものが測定結果となる。       [JIS Z 8101-2] 3.3 精度評価実験の測定（試料の）水準 (level of the test in a precision experiment) ：測定の対象である一つの試料 (material)，又は一つの試験片についての，すべての試験室の測定結果の一般平均。 3.4 精度評価実験のセル (cell in a precision experiment) ：一つの試験室で，一つの測定水準で得られた複数個の測定結果。 4 Z 8402-1 : 1999 (ISO 5725-1 : 1994)  3.5 （採択された）参照値 (accepted reference value) ：次のようにして得られた，比較のために容認された標準として役立つ値。 a) 科学的原理に基づく理論値又は確定値。 b) ある国家，又は国際機関の実験研究に基づく付与値，又は認証値。 c) 科学又は技術集団の主催する共同実験研究に基づく合意値，又は認証値。 d) a)，b)，c)のいずれにも拠ることができないときは，その量の期待値，すなわちその測定値の母集団の平均値。           [JIS Z 8101-2] 3.6 精確さ (accuracy) ：個々の測定結果と採択された参照値との一致の程度。 備考2. かたよりの試験室成分は，測定結果の全平均に関係し，真の値又は採択された参照値に関係しない。 3.12 精度 (precision) ：定められた条件の下で繰り返された独立な測定結果の間の一致の程度。 備考9. 同じように併行分散，併行変動係数も定義され，併行条件の下での測定結果の分布のばらつきの尺度として用いられる。        [JIS Z 8101-2] 3.16 併行許容差 (repeatability limit) ：併行条件で得られた二つの測定結果の差の絶対値が，その値以下になることが95%の確率で期待される値。 備考14.